中微公司

公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司产品主要是 CCP 刻蚀设备、ICP 刻蚀设备、薄膜沉积设备研发、MOCVD 设备、先进封装相关设备、气体净化设备、分布式生态工业互联网平台。公司荣誉有上海市科学技术奖、2011 年突出成果奖、中国专利金奖、2025 年荣获第二十五届中国专利奖银奖等。