ACM Research

ACM Research, Inc.及其子公司在中國大陸及國際市場上開發、制造和銷售資本設備。它還開發、制造和銷售一系列包裝工具，面向晶圓組裝和包裝客戶。該公司提供前端生產過程的濕清洗設備；電化學鍍膜、爐子、PECVD 和軌道平台；用于平面和晶圓表面的空間交替相移技術；及時激活的氣泡振盪技術，適用于先進工藝節點的圖案化晶圓表面；以及 Tahoe 技術和半關鍵清洗工具。它還提供先進的包裝設備，如塗布機、顯影機、光刻膠剝離機、清洗機、濕刻蝕設備和銅鍍設備；先進的包裝產品包括：Ultra ECP ap，它在包裝前為成品晶圓提供均勻的金屬層；Ultra C Developer，它將液體顯影劑應用于光刻膠的選定部分以解析圖像；Ultra C PR Megasonic-Assisted Stripper，它用于去除光刻膠；Ultra C Scrubber，它用于清洗和清潔晶圓；Ultra C Thin Wafer Scrubber，它針對某些亞洲組裝工廠的超薄晶圓清洗子市場；以及 Ultra C Wet Etcher，它用于刻蝕硅晶圓和銅、鈦互連