ASML、AMAT、Lam 和 KLA 均参与了 Terafab 项目。SpaceX 将在试点产线上投入 30 多亿美元,在第一阶段大规模晶圆厂投入 168 亿美元。KLA 在 Terafab 的早期爬坡中可能发挥关键作用(提供检测与量测设备),以解决工艺缺陷并加速良率学习。
来源:Sravan Kundojjala

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